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[期刊论文] 作者：浦本上進,杨金波,
来源：真空 年份：1985
一、前言 在利用气体放电实际应用的离子镀设备中,把等离子源(阴极和中间电极)安装在真空容器侧面,使水平地发射等离子流在坩埚正上方偏转,自然符合重力规则。在等离子偏转的...
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