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[会议论文] 作者:滕晓云[1]郝秋艳[2]刘彩池[2]张丽[3]许贺菊[3]于威[3], 来源:第十届固体薄膜会议 年份:2006
采用脉冲激光沉积法在Si(111) 基片上制备了ZnO 薄膜。利用X 射线衍射、光致发光、扫描电子显微镜等表征技术研究了工作氧压对ZnO 薄膜的结晶特性和光学性能的影响。研究结果...
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