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[期刊论文] 作者：邹其利,滕纲,李小换,张世名,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2009
介绍了一种压力、温度复合传感器的主要研制加工技术。通过采用灵敏度温度自补偿技术、激光调阻技术、以及薄膜微电路加工工艺等关键技术和手段,在弹性体上制作薄膜应变电阻和薄膜温敏电阻,实现压力、温度双参数测量的功能。同时通过监测温度,可以进一步精确修......
[会议论文] 作者：邹江波,张志宇,滕纲,陈巍,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
石英微机械陀螺具有体积小、质量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、耐恶劣环境、易于实现数字化和智能化等优点,在近年来,受到了广泛关注和研究.本文介绍了一种音叉式...
[期刊论文] 作者：汪守利,刘海涛,滕纲,刘尔静,张钰,,
来源：中国惯性技术学报 年份：2014
MEMS惯组以其体积小、成本低、可靠性高在强冲击环境中得到越来越广泛的应用。为解决基于石英微陀螺和硅微加速度计的MEMS惯组抗高g值冲击问题,提出了一种内减振抗冲击设计方...
[期刊论文] 作者：邹其利，滕纲，李小换，张世名，ZOUQili，TENGGan,
来源：仪表技术与传感器 年份：2009
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