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[学位论文] 作者：满庆文,
来源： 年份：2021
随着半导体产业的发展,微机电系统作为其中的重要组成部分,越来越受到人们的重视。微机电系统因其集成了电学、光学、化学、力学、生物学等多种特性,具有器件体积小、产品功能丰富、应用领域广泛等特点。我国作为半导体消费大国,对于微机电系统器件的需求也非常......
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