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[期刊论文] 作者:焦庆斌,
来源:语文世界(高中版) 年份:2005
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[学位论文] 作者:焦庆斌,,
来源:中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 年份:2014
单晶硅湿法刻蚀技术是指应用化学溶液腐蚀的手段在硅材料上制作微纳结构的技术。为降低硅器件表面粗糙度,超声波作为辅助手段被广泛应用于单晶硅湿法刻蚀工艺中。在单晶硅与腐......
[期刊论文] 作者:焦庆斌,,
来源:长春工业大学学报 年份:2015
建立了单晶硅中阶梯光栅湿法刻蚀全工艺过程,并对该工艺所涉及的光刻胶掩模制备、氧化层掩膜制备以及单晶硅湿法刻蚀等环节进行了研究。利用该工艺制作了口径为20mm×20m...
[期刊论文] 作者:焦庆斌,
来源:长春工业大学学报:自然科学版 年份:2015
为降低硅中阶梯光栅制作工艺中顶角平台对光栅衍射效率的影响,提出了“紫外曝光一倒置热熔”结合法用于制备具有小占宽比的光刻胶掩模,对中阶梯光栅设计、硅基片准备以及光刻胶......
[期刊论文] 作者:焦庆斌,,
来源:遥测技术 年份:1985
日立制作所研制一种小型、高性能的IC化压力传感器。它是利用了硅的压阻效应(当加压力时,晶体电阻发生变化的现象)。由于附带了独特的温度补偿电路,使这类压力传感器所存在...
[期刊论文] 作者:焦庆斌,,
来源:国外导弹技术 年份:1979
专利申请范围这种传感器是由在壳体内壁形成的内腔中安装一个膜片组合件所组成。该组合件是用静电法把对应变敏感的硅膜片焊在与其有大体相同温度系数、带有轴线孔的玻璃支...
[期刊论文] 作者:焦庆斌,
来源:语文世界(高中版 ) 年份:2005
一次偶然的机会,我在书店看到了语文老师在课上曾经向我们推荐过的《现代汉语规范词典》(以下简称《规范词典》),我便拿过一本翻了起来。 作为众多词典中的一员,《规范词典》是后起之秀。它吸收了前人的许多优秀成果,又很好地反映了时代精神,是一部具有鲜明特色的工......
[期刊论文] 作者:焦庆斌,李文秀,,
来源:遥测遥控 年份:1988
CYS系列压力传感器是利用半导体的压阻效应制成的压阻式压力传感器。自1985年鉴定以来,根据一些用户的使用要求,已派生出不同用途的许多品种和规格。这些产品经过试验和试用...
[期刊论文] 作者:竹中启恭,焦庆斌,,
来源:遥测技术 年份:1986
下面介绍的SPE湿度传感器是由特殊的感温元件和检测方法构成的。它是作者1975年所进行的SPE水电解制氢研究中所派生出来的一种应用技术。这种SPE湿度传感器原理大体与SPE水...
[期刊论文] 作者:渡辺博司,焦庆斌,,
来源:遥测遥控 年份:1987
本文叙述气体速率传感器的原理和应用。传感器是利用科里奥利牵连加速度的流体陀螺仪。将氦封在壳体内使氦循环而检测速率。传感器没有高速旋转部分,只由泵检测器、喷咀和气...
[期刊论文] 作者:李耀彬,谭鑫,焦庆斌,马振予,
来源:科技成果管理与研究 年份:2022
2021 年5 月,中国科学院科技服务网络计划(STS)区域重点项目“小麦赤霉病检测设备产业化开发及应用推广”顺利通过验收.项目面向国家粮食安全重大战略需求,成功研制出小麦赤霉菌高光谱原位检测系统,实现对小麦赤霉病的非采样检测,解决了传统检测方法设备昂贵、......
[期刊论文] 作者:朱春霖, 焦庆斌, 谭鑫, 王玮, 巴音贺希格,,
来源:光学学报 年份:2004
提出了分步寻优的基于粒子位置调整惯性权重的粒子群算法(PDW-PSO),通过调用严格耦合波方法(RCWA)计算衍射效率,进行了光栅结构参数的优化。将PDW-PSO与惯性权重不变的粒子群...
[期刊论文] 作者:朱春霖, 胡昊, 焦庆斌, 谭鑫, 巴音贺希格,,
来源:中国光学 年份:2019
在使用电铸方法制作金属光栅时,采用传统的计时电铸方法常常不能保证金属栅条具有精确的沉积厚度。为了能够实时监测光栅栅条的沉积厚度,以实现电铸截止时刻的精确判断,建立...
[期刊论文] 作者:宁鸿章,谭鑫,李宇航,焦庆斌,李文昊,,
来源:光谱学与光谱分析 年份:2020
针对目前应用Savitzky-Golay(SG)滤波器进行高光谱图像滤波过程中空间信息无法利用,造成小麦赤霉病高光谱分类识别模型精度仅能达到87.088 9%的问题,提出高光谱图像空-谱维联合SG滤波(TSG滤波)的方法,使模型精度相比采用SG滤波提升了12.066 7%。该算法将一维的S......
[期刊论文] 作者:焦庆斌, 巴音贺希格, 谭鑫, 李艳茹, 朱继伟, 吴娜,,
来源:光学学报 年份:2014
单晶硅阶梯光栅闪耀面表面粗糙度会引起入射光的散射形成杂散光,为获得低杂散光的阶梯光栅槽形,减小单晶硅阶梯光栅闪耀面表面粗糙度显得尤为重要。在单晶硅湿法刻蚀工艺中,...
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