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[期刊论文] 作者:熊德哥,任爱光,王琦,黄辉,黄永清,任晓敏, 来源:功能材料与器件学报 年份:2007
采用两步生长法用金属有机物气相外延技术在GaAs(100)衬底生长InP,用原子力显微镜探索了退火和未退火的低温缓冲层以及InP外延层的表面形貌,测量了他们的表面均方根值,讨论了低温......
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