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[会议论文] 作者：牛新平;马胜利;徐可为;,
来源：第二届中国西安纳米科技研讨会 年份：2003
用工业型脉冲直流等离子体增强化学气相沉积技术，在高速钢(W18Cr4V)表面沉积了由纳米晶TiN和纳米非晶Si3N4组成的Ti-Si-N复相薄膜，研究了Ti-Si-N复合薄膜的热稳定性及高温摩擦...
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