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[学位论文] 作者：王凤府,
来源：西安理工大学 年份：2013
影响SiC器件商品化进程的主要问题是器件特性和制造成本,而制约SiC器件最佳性能和降低成本的主要因素是SiC晶体的尺寸和结晶品质。因此,大尺寸、高品质SiC单晶的生长是国际上...
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