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[会议论文] 作者：王卓[1]孙大亮[1]胡秀帆[2]许效红[1]王栋[1]王民[1]王弘[1]王春雷[3]陈焕矗[1]房昌水[1]刘训春[3]魏珂[3],
来源：第四届中国功能材料及其应用学术会议 年份：2001
采用金属有机化合物分解(MOD)法制备出BiTiO介电薄膜.然后在560℃退火30min得到(111)取向的BiTiO薄膜.首次成功地对BiTiO薄膜进行了反应离子刻蚀,使用的气体分别为氧气(O)、...
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