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[会议论文] 作者：王延峰;黄茜;刘阳;魏长春;赵颖;张晓丹;,
来源：第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12) 年份：2012
采用脉冲磁控溅射技术使用掺杂浓度为1.5 wt.％(WO3：ZnO)的陶瓷靶,分别在Ar和Ar+H2 的气氛下制备了W 掺杂ZnO(WZO)和H、W 共掺杂ZnO(HWZO)薄膜,系统的研究了衬底温度以及H 掺杂...
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