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[学位论文] 作者：王旭迪,
来源：中国科学技术大学 年份：2005
本文对以光刻胶为掩模，通过离子束刻蚀在HfO2薄膜、石英和BK7玻璃等基底材料上制作微纳米结构进行了系统的研究。根据材料刻蚀特性，试图提出完善的刻蚀工艺路线。 ...
[会议论文] 作者：王旭迪,
来源：中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会 年份：2015
由于极紫外光刻技术、大科学工程和国防航天等方面的需求，真空计量及测试是近年来真空技术发展最为活跃的领域。本文将介绍包括美国NIST、德国PTB、欧盟计量研究计划、合肥工业大学在内的国内外研究机构在真空测量新方法新原理、测试仪器、计量新技术、新型漏孔......
[期刊论文] 作者：林文豫, 王旭迪,,
来源：真空与低温 年份：2020
传统真空漏孔存在难以实现尺寸可控制作、分子流压力范围有限等问题,而利用微纳通道型真空漏孔可以有效解决上述问题。本文阐述了一维/二维微纳通道型真空漏孔的加工方法,即...
[期刊论文] 作者：王旭迪,胡焕林,
来源：真空与低温 年份：1999
涡旋真空泵是一种新型的无油机械泵，它具有结构简单，密封性能好，极限真空高等优点。作为一种高新技术产品，它不易仿制，应用前景广阔。目前在国外，仅有少数几个公司有产品问世。......
[期刊论文] 作者：王旭迪,胡焕林,
来源：真空科学与技术 年份：1999
涡旋真空泵具有简单，密封性有好，极限真空高（可达５×１０＾－１Ｐａ）等优点。作为一种高新技术产品，它不易仿制，目前在国外，仅有少数几个公司有产品问世。本文从涡旋真空泵工作原理出发，研究了型......
[期刊论文] 作者：陈长琦,王旭迪,
来源：流体机械 年份：2002
分析罗茨泵的工作过程,根据平行平板间稀薄气体的流动理论建立泄漏模型,用模型来描述转子回转和不同流态下的压力差引起的径向泄漏.求解数学模型可为改进泵的性能提供理论依...
[期刊论文] 作者：王旭迪,胡焕林,
来源：合肥工业大学学报(自然科学版) 年份：2001
涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真 空高(≤5×10-1 Pa）和不易仿制等优点，在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业 。型线部分是涡旋真空泵设计的关键，该文结合工...
[期刊论文] 作者：王旭迪,卢景景,,
来源：真空 年份：2008
低能宽束离子源是离子束沉积、刻蚀和表面改性系统的核心部件,综述了考夫曼、射频等离子体、电子回旋共振等离子体、无栅网等四种离子源的等离子体的产生方式,对结构重点进行...
[会议论文] 作者：王旭迪,胡焕林,
来源：华东三省一市第三届真空学术交流会 年份：2000
本文结合工程实际需要对涡旋真空泵的理论和实际型线进行了研究,建立了型线的参数化设计模型，提高了设计效率，有利于产品的系列化。...
[会议论文] 作者：王旭迪,胡焕林,
来源：华东三省一市第三届真空学术交流会 年份：2000
本文根据平行平板间稀薄气体的流动理论,建立了涡旋真空泵压缩腔的气体泄漏、压力分布和传热模型,通过上述模型的数值计算对涡旋真空泵工作过程进行了模拟，其计算结果与相......
[期刊论文] 作者：甘婧,王永健,王旭迪,
来源：真空与低温 年份：2019
提出一种基于动态差压法测量固定流导元件流导的新方法。固定流导元件是以阳极多孔氧化铝(AAO)为模板制作而成。在测量流导过程中,通过测量连接AAO固定流导元件两端的容器的...
[期刊论文] 作者：董栋,朱爱青,王旭迪,,
来源：真空 年份：2015
本文提出利用氦质谱检漏仪测量聚合物薄膜渗透性能的方法,即通过聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚酰亚胺(PI)等三种聚合物薄膜对氦(He)的渗透率的测量,...
[期刊论文] 作者：桑艾霞,王旭迪,魏本猛,,
来源：真空 年份：2016
本文采用聚氨酯丙烯酸酯(PUA)通过紫外固化浇铸复制多孔氧化铝(AAO)模板制作蛾眼微结构。PUA低粘度和低表面能特性保证了高深宽比柱状阵列结构的精确复制。测量制备的蛾眼结...
[期刊论文] 作者：李鑫,王时飞,李钊,王旭迪,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2013
基于界面间粘附能理论,结合有限元模拟研究聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构模板实现聚合物SU-8光刻胶的图形转移复制的转印机理,分析了微结构转印过程中基底表面能、压力和SU-8胶...
[期刊论文] 作者：陈长琦,王艳,王旭迪,汪力,
来源：真空 年份：2003
软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,作为非光刻微米和纳米量级微加工方法,加工的分辨率可以达到5nm100μm,它克服了传统光刻技术的缺陷,为形...
[期刊论文] 作者：王旭迪,张永胜,胡焕林,汪力,
来源：真空 年份：2004
介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段。The...
[期刊论文] 作者：郑丁杰,陶伟,魏本猛,王旭迪,,
来源：真空 年份：2016
本文基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构图章的转印技术将紫外固化胶图形转移到PMMA基底上,形成紫外固化胶/PMMA双层胶结构,用等离子刻蚀(RIE)后,得到具有内切结构的光刻胶掩膜,...
[期刊论文] 作者：黄长杰, 王旭迪, 汪力, 胡焕林,,
来源：真空 年份：2004
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[期刊论文] 作者：王时飞,李鑫,郑丁杰,王旭迪,,
来源：真空 年份：2014
本文利用液桥转印技术将填充于聚二甲基硅氧烷(PDMS)模板沟槽内的纳米银墨水经烧结固化后转印到玻璃基底表面形成微结构图形。研究了金属微结构在转印过程中的图形断裂和线条...
[期刊论文] 作者：朱郑乔若, 王时飞, 赵永恒, 王旭迪,,
来源：真空 年份：2015
本文结合湿法腐蚀技术、紫外固化纳米压印技术、热压纳米压印技术制备出聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)沟槽微结构,基于局部加热的自封装技术成功制备出了PMMA微流控通道。研究了硅...
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