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[会议论文] 作者：王晖;亢原彬;邓湘云;李德军;,
来源：二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛 年份：2008
本文利用磁控溅射技术设计合成了AlN/ZrB2纳米多层膜。通过XRD、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期对多层膜微结构和力学性能的影响。结果表明：多层膜的界面清晰,调...
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