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[期刊论文] 作者:钟国仿,申发振, 来源:北京科技大学学报 年份:1999
研究直流电弧等离子体喷射比化学气相沉积金刚石系统中,基片温度对金刚石膜生长速率和质量的影响。实验发现,金刚石膜的生长速率和结晶性随基片温度的增加而境调增加。...
[会议论文] 作者:钟国仿,申发振,黄天斌, 来源:1998年中国材料研讨会 年份:1998
研究了在直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜的方法中,工作气压、基片温度和甲烷浓度对金刚石薄膜生长速率和质量的影响,在优化工艺的条件下,以7 ̄10μm/h的速率制备出了白色(透明......
[期刊论文] 作者:钟国仿,申发振,唐伟忠,吕反修, 来源:北京科技大学学报 年份:1999
研究直流电弧等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜系统中,基片温度对金刚石膜生长速率和质量的影响.实验发现,金刚石膜的生长速率和结晶性随基片温度的增加而单调增加,但是金刚石膜......
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