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[学位论文] 作者：白有盾,,
来源：广东工业大学 年份：2017
微电子制造是关系国家安全与经济发展的重要行业。目前,新一代的微电子制造装备正面临高加速、高速、高精密、大行程等诸多挑战性要求。传统的单级驱动运动平台已经不能继续...
[期刊论文] 作者：白有盾, 陈新, 杨志军,,
来源：中国科学:技术科学 年份：
高速精密定位是电子制造的要求,轴系摩擦是影响精密定位的重要因素.目前,微米级以上精度必须通过消除摩擦影响的方式来实现,成本很高.本文将大行程的直线电机平台与无摩擦的...
[期刊论文] 作者：白有盾, 陈新, 杨志军,,
来源：机械工程学报 年份：2019
阻尼在机械系统中普遍存在,然而现有运动规划方法普遍不考虑阻尼衰减影响,不能体现运动过程的振动衰减效应。提出一种考虑阻尼衰减的时间最优运动规划模型。在优化模型中的定...
[期刊论文] 作者：杨志军, 白有盾, 陈新, 王梦, 姜知武,,
来源：中国科学:物理学 力学 天文学 年份：2015
预应力梁被广泛应用于微传感器和执行器中,其刚度、固有频率与预应力的关系是非常重要的物理关系.针对纯弯曲问题容易得到静态变形,而纯张力问题容易得到振动频率的特点,基于...
[期刊论文] 作者：陈新,白有盾,杨志军,高健,陈贡发,,
来源：Engineering 年份：2015
高速运动精密定位是微电子封装设备中高加速轻载执行机构的基本运动需求。本文推导了高加速机构瞬态非线性动力学响应方程,揭示了刚度、频率、阻尼(与材料空间布局相关)和驱...
[期刊论文] 作者：杨志军, 白有盾, 陈新, 王梦, 高健, 杨海东,,
来源：机械工程学报 年份：2015
针对现有基于柔性铰链的微动平台动态特性受材料特性、设计制造等误差影响，难以满足精密微动平台对动态响应（特别是可变频率操作）的高要求，基于应力刚化效应，提出了动态特性可调的......
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