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[期刊论文] 作者：吴魁,刘宝祥,李志义,周增圻,瞿应东,
来源：真空科学与技术 年份：1986
以光发射产额谱仪为主的综合谱仪真空系统由三个真空室组成,即分析室、样品制备室和进样室。对前两个室要求极限压强不大于2.7×10~(-8)Pa,对进样室则要求1.33×10~(-4)Pa。...
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