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[学位论文] 作者：瞿敏妮,,
来源：复旦大学 年份：2014
有机薄膜晶体管(OTFT)是由有机半导体、电极和绝缘层组成的场效应晶体管,是有机集成电路的核心器件。凭借其制备温度低、工艺简单、易于大面积制造及可弯曲等优势,OTFT于近几...
[学位论文] 作者：瞿敏妮,
来源：复旦大学 年份：2011
单壁碳纳米管是一种性能优良的准一维材料,根据结构不同,其导电特性可表现为半导体型或金属型。在纳米电子学器件应用中,单根半导体型碳纳米管作沟道的场效应晶体管能够同时...
[期刊论文] 作者：沈贇靓,瞿敏妮,王英,付学成,
来源：实验室研究与探索 年份：2020
基于FIB直写及辐照技术加工制备了金膜的三维立体结构,并测量了薄膜结构形变量随辐照时间的变化,分析了其动态变化过程及机理。结果表明,金膜在离子束辐照下,金原子和镓离子...
[期刊论文] 作者：田苗,瞿敏妮,乌李瑛,程秀兰,
来源：激光与光电子学进展 年份：2021
光子集成的发展极大地促进了光栅耦合器的研究.非对称光栅打破了耦合对称条件,能够实现相对较高的耦合效率.近年来,倾斜光栅、闪耀光栅和二元闪耀光栅等均得到了极大发展,它...
[期刊论文] 作者：付学成, 权雪玲, 乌李瑛, 瞿敏妮, 王英,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
制备低应力的氮化硅薄膜是微机械系统和集成电路中非常重要的工艺。在温度不高于80℃的条件下,采用ICP-CVD设备,利用硅烷和氮气作为前驱体沉积氮化硅介质薄膜。研究了沉积温...
[期刊论文] 作者：付学成, 王英, 权雪玲, 瞿敏妮, 王凤丹,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食Back to yield...
[期刊论文] 作者：张笛,王英,瞿敏妮,孔路瑶,程秀兰,
来源：微电子学 年份：2020
SU-8光刻胶因具有良好的机械耐久性、聚合物水密性、介电性能、生物兼容性和抗化学腐蚀性而被广泛用于MEMS器件、生物医学和芯片封装等领域.现有制作工艺中,在不损伤器件的同...
[期刊论文] 作者：付学成,毛海平,瞿敏妮,乌李瑛,王英,
来源：真空 年份：2021
采用玻璃碳坩埚和电子束蒸发设备沉积金膜时,随着黄金物料的消耗,在相同沉积速率下蒸镀所得金膜表面颗粒越来越多,严重影响了薄膜的平整度和局部均匀性.本文用液态金属表面热发射电子引起坩埚壁上球形小液滴电晕放电导致物料飞溅这一理论对该现象进行了解释.在......
[期刊论文] 作者：付学成,乌李瑛,权雪玲,瞿敏妮,王英,
来源：红外技术 年份：2022
在常温、高真空条件下,采用高纯金属镁靶和V2O5靶进行共溅射,利用镁原子的还原性,将+5价的钒还原为+4价,在硅衬底上制备钒的氧化物薄膜.当Mg和V的原子比为1:2时,XPS测试表明薄膜中有V4+和V2+存在.X射线衍射结果显示,制备的薄膜主要成分是MgV2O5,且结晶状况良好.......
[期刊论文] 作者：付学成, 瞿敏妮, 权雪玲, 乌李瑛, 王英,
来源：真空与低温 年份：2020
利用电子束蒸镀设备沉积金属薄膜是微电子领域最常见的薄膜沉积工艺之一。然而使用普通钨坩埚电子束蒸镀铜薄膜时，沉积速度非常低。这是因为熔融的铜与钨坩埚是浸润的，当提高电子枪功率时，液态铜的表面自由能随着温度的升高而降低，液态铜会沿着坩埚壁向上铺展，将电子......
[期刊论文] 作者：付学成, 瞿敏妮, 权雪玲, 乌李瑛, 王英,
来源：真空与低温 年份：2023
利用电子束蒸镀设备沉积金属薄膜是微电子领域最常见的薄膜沉积工艺之一。然而使用普通钨坩埚电子束蒸镀铜薄膜时，沉积速度非常低。这是因为熔融的铜与钨坩埚是浸润的，当提高电子枪功率时，液态铜的表面自由能随着温度的升高而降低，液态铜会沿着坩埚壁向上铺展，消耗电......
[期刊论文] 作者：乌李瑛, 瞿敏妮, 沈贇靓, 王英, 程秀兰,,
来源：微纳电子技术 年份：2004
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食Back to yield...
[期刊论文] 作者：王英,程秀兰,马玲,付学成,瞿敏妮,沈赟靓,
来源：实验技术与管理 年份：2020
大型仪器设备共享是节约社会资源的重要手段。该文以上海交通大学先进电子材料与器件校级平台为基础,从实验室环境、设备工艺、物资需求、研究方向、人员等方面系统分析和总...
[期刊论文] 作者：瞿敏妮,沈贇靓,乌李瑛,田苗,王英,程秀兰,
来源：电子显微学报 年份：2020
聚焦离子束是一种高精度、无掩膜的先进微纳加工手段。本文以铌酸锂晶体为研究对象,利用聚焦离子束/电子束双束系统对铌酸锂表面进行图形刻蚀,研究了离子束重复次数/驻留时间...
[期刊论文] 作者：田苗,瞿敏妮,沈贇靓,张笛,乌李瑛,孔路瑶,
来源：实验室研究与探索 年份：2020
研究了通常较难施镀、含金量低的电镀液中电镀条件对镀层质量的影响。发现较高的电压会增加沉积速率,但同时会增加粗糙度,并削弱镀层对基底的结合力。为了弥补这些缺点,温度...
[期刊论文] 作者：乌李瑛,瞿敏妮,付学成,田苗,马玲,王英,程秀兰,
来源：材料导报 年份：2020
在集成电路中,铜互连工艺需要沉积一层连续且保形性良好的铜阻挡层。氮化钽是一种过渡金属氮化物,由于其硬度高,导电性可控,对金属元素具有扩散阻挡的作用,在微电子工业领域...
[期刊论文] 作者：田苗,张笛,瞿敏妮,毛海平,乌李瑛,孔路瑶,
来源：微纳电子技术 年份：2020
当以SU-8光刻胶作为模具制备大深宽比结构或者直接用SU-8作为结构材料时,都难以避免地受到粗糙侧壁的影响.而随着器件性能的提高,这一问题越来越影响到SU-8的应用.通过使用硬...
[期刊论文] 作者：瞿敏妮,李辉,乌李瑛,沈贇靓,田苗,王英,程秀兰,
来源：微纳电子技术 年份：2020
铌酸锂物理性能稳定,电光、声光及非线性光学效应优异,是集成光学器件中重要的光学材料.然而,目前铌酸锂材料的加工工艺无法满足复杂且小型化的集成光路发展需求.聚焦离子束(...
[期刊论文] 作者：乌李瑛,瞿敏妮,沈赟靓,田苗,马玲,王英,程秀兰,
来源：半导体技术 年份：2021
采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术在单晶硅衬底上成功制备了具有(002)晶面择优取向的氮化铝(AlN)晶态薄膜,为设计新型压电功能器件提供了思路.利用椭圆偏振光谱仪(SE)...
[期刊论文] 作者：瞿敏妮,乌李瑛,黄胜利,凌天宇,沈贇靓,权雪玲,王英,
来源：半导体技术 年份：2021
研究了聚焦离子束(FIB)沉积Pt纳米导线的电学失效行为及其机理.FIB沉积Pt纳米导线在集成电路修复和微型电极制备等领域有重要应用,其电学特性及失效行为研究对器件结构设计及...
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