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[期刊论文] 作者:石之琅,黄献烈, 来源:中国激光 年份:1985
给出一种用全息干涉显微法测量自聚焦棒透镜折射率分布的测量原理、测量结果和误差分析.这种方法具有测量精度高、视场大、数据处理简单和放大倍数连续可调等优点.A measur...
[期刊论文] 作者:石之琅,黄清,黄献烈,, 来源:光电子.激光 年份:1984
本文介绍一种快速测量硅片表面不平度的方法,可在集成电路的生产过程中直接应用。文中提出了测量方法的原理,实验验证以及测量结果。通过选择不同的光栅常数或衍射级来改变测...
[期刊论文] 作者:石之琅,黄秀清,黄献烈, 来源:厦门大学学报(自然科学版) 年份:1983
本文介绍一种简单快速测量硅片表面不平度的方法,可在集成电路的生产过程中直接应用,说明了测量原理、实验验证以及测量结果。这种方法可通过选择不同的光栅常数或衍射级来改...
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