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[期刊论文] 作者：伊藤纠次,石田哲夫,吴明华,
来源：微细加工技术 年份：1988
在硅LSI中有以高速率为主要特点的双极型和以高密度化为主要目的的MOS型两类。在双极型LSI中,除纵向结构的BPT(结型晶体管)必需集成外,在元件间的隔离上主要是使用简便的外...
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