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[学位论文] 作者：祝景洋,
来源： 年份：2020
超精密定位技术是指亚微米甚至纳米级的精确定位,广泛应用于仪器仪表、机械电子工程、测控技术、半导体制造等领域。超精密定位装置通常使用气缸、音圈电机、压电陶瓷、液压马达等作为驱动器,但这些常用的元件存在着精度低、成本高等缺点,因此寻找一种新的驱动......
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