【摘 要】
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超精密定位技术是指亚微米甚至纳米级的精确定位,广泛应用于仪器仪表、机械电子工程、测控技术、半导体制造等领域。超精密定位装置通常使用气缸、音圈电机、压电陶瓷、液压马达等作为驱动器,但这些常用的元件存在着精度低、成本高等缺点,因此寻找一种新的驱动器成为当前的研究重点。本文选用气动波纹管作为驱动器,并搭建了二维超精密定位平台,工作平台的气浮机构由封闭式矩形静压气浮导轨和气浮滑块组成,气浮导轨作为支撑部分
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超精密定位技术是指亚微米甚至纳米级的精确定位,广泛应用于仪器仪表、机械电子工程、测控技术、半导体制造等领域。超精密定位装置通常使用气缸、音圈电机、压电陶瓷、液压马达等作为驱动器,但这些常用的元件存在着精度低、成本高等缺点,因此寻找一种新的驱动器成为当前的研究重点。本文选用气动波纹管作为驱动器,并搭建了二维超精密定位平台,工作平台的气浮机构由封闭式矩形静压气浮导轨和气浮滑块组成,气浮导轨作为支撑部分保证了平台工作过程中的稳定。波纹管在充气过程中产生弹性变形,与气浮滑块相配合带动负载移动,光栅尺用来采集
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