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[期刊论文] 作者:H.Freller,穆小丁,, 来源:真空与低温 年份:1983
1.前言蒸发耐高温的钼和钨的氧化物,在适当的金属还原剂的作用下,在高温基底表面还原,是在高真空中用耐高温金属获得薄膜的新方法。这种工艺是原来用于Ⅲ—Ⅴ族化合物半...
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