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[会议论文] 作者：穆莉兰;童洪辉;霍延峰;,
来源：'99全国荷电粒子源粒子束学术会议 年份：1999
根据全方位离子注入(PSII)工业样机实验和应用的需要，由等效电流磁场计算法获得的数据结果，设计了一种平面磁控溅射靶。并利用此平面磁控靶在一定的Ar、 N气体分压及不同电流、......
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