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[期刊论文] 作者:阴晓俊,费书国,章月州,孔志坤,, 来源:城市道桥与防洪 年份:2004
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法....
[期刊论文] 作者:阴晓俊,费书国,章月州,孔志坤, 来源:第十一届全国薄膜学术交流会 年份:2001
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法....
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