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[学位论文] 作者：管昌雨,
来源： 年份：2010
采用射频磁控溅射方法,以硼和石墨为溅射靶材,通过调控工作气压、基片温度、溅射功率、CH4/N2/Ar气体流量比一系列实验参数,在Si(100)基片上制备不同组分的非晶B-C-N薄膜。利用傅里叶变换红外光谱(FTIR), X射线衍射(XRD),X射线光电子能谱(XPS)和纳米压痕测试仪......
[期刊论文] 作者：王健,白亦真,张东,潘丽,柳浩,管昌雨,吴占玲,赵纪军,,
来源：吉林大学学报(理学版) 年份：2010
采用射频磁控溅射方法,分别利用六方氮化硼（h-BN）、硼（B）和石墨（C）靶,在氩气和氮气的氛围中,沉积B-C-N薄膜.傅里叶变换红外光谱（FTIR）分析表明：在1200～1800cm-1和1000～1750cm-1处出现了......
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