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[学位论文] 作者:米高园,
来源: 年份:2011
二氧化硅(SiO2)薄膜的折射率低、消光系数低、色散小、附着力强、粗糙度小,在可见光和近红外区域均为透明,是一种理想的光学薄膜。另外,SiO2薄膜的硬度大、绝缘性好、耐磨损、抗腐蚀、化学性能稳定,抗激光损伤阈值较高,机械性能优越,已经广泛地应用于光学、机械......
[会议论文] 作者:米高园,朱昌,
来源:第八届全国信息获取与处理学术会议 年份:2010
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[期刊论文] 作者:朱昌,米高园,达斯坦科,格拉索夫,扎瓦斯基,,
来源:应用光学 年份:2010
比较了磁控反应溅射(RMS)法与离子束反应溅射(RIBS)法沉积得到的氧化硅薄膜的光学特性,并确定了其对折射率n、消光系数k、沉积速率和混合工作气体Ar/O2中氧含量的依赖性关系...
[期刊论文] 作者:米高园, 张建付, 韩俊, 刘青龙, 王松林, 杨崇民,,
来源:激光与红外 年份:2016
针对多光谱成像中存在的多光谱共光路问题,在ZnSe基底上设计了三波段增透膜。通过选取合适的薄膜材料,利用TFCalc膜系设计软件对膜系进行设计与优化,使用热蒸发和离子源轰击...
[期刊论文] 作者:刘青龙, 杨崇民, 张建付, 米高园, 韩俊, 金柯,,
来源:应用光学 年份:2012
为了对沉积在大曲率球面零件表面的光学膜厚分布进行理论分析计算,首先确定了工艺配置,然后通过数学建模确定出计算函数式,最后通过数值积分分别对蒸发源为点源(n=0)和蒸发源为面......
[期刊论文] 作者:王松林,杨崇民,张建付,李缘,米高园,刘青龙,
来源:半导体光电 年份:2020
采用电子束蒸发镀膜方法在K9玻璃基底上分别镀制了ITO/SiO2/ITO,ITO/Ti2O3/ITO和ITO/MgF2/ITO结构的多层薄膜,用四探针方块电阻仪测量薄膜表面的方块电阻,用原子力显微镜观测...
[期刊论文] 作者:张建付,王松林,杨崇民,李明伟,米高园,赵红军,
来源:光学技术 年份:2021
为了研制具有高效电磁屏蔽功能的反红外、透1064nm激光的滤光片,基于金属薄膜诱导理论和多层薄膜的干涉原理,设计了诱导滤光膜的膜系结构,并讨论了金属Ag薄膜厚度误差对滤光片光谱性能的影响.采用离子束辅助沉积的方式制备膜系中的介质薄膜,采用离子束溅射方式......
[期刊论文] 作者:王松林, 米高园, 张建付, 杨崇民, 刘青龙, 王颖辉,,
来源:激光与红外 年份:2017
采用在单晶锗基底的两面分别设计中波红外带通滤光膜和中波红外负滤光膜的方法,设计了一种光谱性能优良的中波红外双通道带通滤光片。以适当的工艺技术完成了膜层的制备,并测...
[期刊论文] 作者:米高园,朱昌,戚云娟,达斯坦科,格拉索夫,扎瓦斯基,,
来源:应用光学 年份:2011
主要研究采用离子束反应溅射(RIBS)制备SiO2薄膜的折射率、消光系数、化学计量比与氧气在氩氧混合工作气体中含量及其沉积速率的关系。研究结果表明:RIBS制备的SiO2薄膜在0.6...
[期刊论文] 作者:王松林,杨崇民,张建付,刘青龙,黎明,米高园,王慧娜,,
来源:应用光学 年份:2013
为了考察基底温度对氧化铝薄膜折射率以及沉积厚度的影响情况,在不同基底温度环境下,通过离子辅助电子束蒸发方式,在玻璃基底上制备了同一Tooling因子条件下所监测到相同厚度...
[期刊论文] 作者:王松林,张建付,米高园,李缘,王颖辉,杨崇民,刘青龙,
来源:激光与红外 年份:2019
研究了一种新的研究薄膜光学参数的方法,在同一基片上沉积两种薄膜,可以同时对这两种薄膜材料进行参数拟合。通过材料实验与光谱测试,基于柯西公式拟合得到了两种薄膜在可见...
[期刊论文] 作者:米高园,杨崇民,张建付,王松林,刘青龙,朱筱群,李明伟,
来源:红外技术 年份:2019
为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺条件...
[期刊论文] 作者:王松林,杨崇民,张建付,李明伟,米高园,赵红军,贾雪涛,
来源:真空 年份:2022
为了研究ITO薄膜在宽角度电磁屏蔽激光窗口中的应用效果,采用双离子束溅射镀膜技术在不同工艺条件下制备了ITO薄膜,根据薄膜的光电性能测试结果,分析了氧气流量、辅助离子源、基片烘烤温度等工艺条件对ITO薄膜透光性和导电性的影响。用Ti2O3和SiO2作为高、低折射率......
[期刊论文] 作者:张建付,杨崇民,刘青龙,王养云,谢辉,黎明,刘永强,杨华梅,米高园,李明伟,,
来源:应用光学 年份:2013
中波红外宽带通滤光膜通常膜系层数多,膜层总厚度非常大(厚度达到10μm左右),膜层的镀制工艺难度较大。通过分析红外带通滤光片几种设计方法的特点,并结合实际镀制工艺技术,...
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