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[期刊论文] 作者：织田善次郎,
来源：真空技术报导 年份：1972
1、开头语 利用潘宁放电的溅射离子泵,在日本大约十年前作为商品登上市场。作为超高真空泵来说,当时曾在日本的真空学术界得到了很高的评价,但是,也遭到了许多严厉的批评。这...
[期刊论文] 作者：织田善次郎,姜永安,
来源：真空技术报导 年份：1965
超高真空技术的研究和它在应用方面的研究在真空技术的全部范围内所占的比重年年增加,这点各位读者是知道的。回顾,在10年前的1953年,D.Alpert在应用物理的杂志上发表了“超...
[期刊论文] 作者：织田善次郎,张志平,
来源：真空技术报导 年份：1971
本文阐述了四极溅射装置的基本结构、放电特性和溅射速率。同时也报导了该装置淀积的钽、二氧化硅和氧化铝膜的电气和物理化学特性的实验结果。溅射装置的电极是由一个热灯丝...
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