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[期刊论文] 作者：罗修龄,,
来源：电子测量技术 年份：1983
一、概述硅单晶电阻率是半导体材料重要特性之一,对它的测试是采用精度高的四探针方法,其基本原理为在硅片表面上垂直压上四根金属针,若外面两根探针1、4通过恒流,那么2、3...
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