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[会议论文] 作者：罗小兰;周灵平;朱家俊;彭坤;李德意;李绍禄;,
来源：2010中国材料研讨会 年份：2010
采用电子束蒸发技术在玻璃及单晶硅衬底上制备TiO2薄膜，并分别引入离子束辅助轰击、斜角入射沉积等工艺方法，研究了沉积工艺对薄膜折射率的调控作用。利用X射线衍射（XRD）、X......
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