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[期刊论文] 作者：陈鹏,罗露雯,盛斌,黄元申,,
来源：光学仪器 年份：2016
提出了-种离子束刻蚀制备线性渐变滤光片（LVOF）的方法.离子束刻蚀过程中,通过在样片和离子束出射窗口之间加入开有三角形透射窗口的挡板以及样片水平方向多次来回运动完成楔形......
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