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[期刊论文] 作者：谢子仪,段力,翁昊天,
来源：上海交通大学学报 年份：2021
底枢轴承作为重要水利结构的支撑与转动构件,其在转合操作中造成的磨损直接影响闸门的正常运作和可靠性.在恶劣的深水工作条件下,为了更好地监测轴承磨损量,利用微机电系统,设计一种新型的薄膜电阻型磨损量传感器;进行磨损量测量表征实验,并利用计算机仿真建模......
[期刊论文] 作者：刘媛, 翁昊天, 郭良库, 柴富,,
来源：渭南师范学院学报 年份：2018
加拿大创新创业教育开展较早,目前已形成一套完整的运行步骤、实施办法及规章制度。中国创新创业教育起步较晚,尚处在探索完善阶段,与前者相比存在明显差距。运用数学建模分...
[期刊论文] 作者：姬中林,段力,翁昊天,谢子仪,
来源：中国测试 年份：2020
为实现航空发动机涡轮叶片表面高温温度的精准测量,首先需要对涡轮叶片表面薄膜热电偶进行精确校准,而校准误差主要起源于被校准热电偶与标准热电偶之间存在的温度迟豫。为此...
[期刊论文] 作者：陈熙, 段力, 翁昊天, 付学成, 杨志, 张亚非, 刘千慧,
来源：微纳电子技术 年份：2004
通过磁控溅射靶材的成分调控和一系列优化过的微电子机械系统（MEMS）工艺,成功研制了基于氧化锌（ZnO）压电薄膜的固体装配型薄膜体声波谐振器（FBAR）。通过使用性能优异的靶材,所得到......
[期刊论文] 作者：段力, 姬中林, 翁昊天, 陈熙, 杨志, 邹兵林, 王盈,,
来源：航空制造技术 年份：2019
传统的航空发动机热障涂层主要关注点是其热绝缘特性及可靠性的研究,并且已经形成了一整套基于YSZ的热障涂层技术,但是缺乏热障涂层高温导电性能的研究。另一方面,基于对航空...
[期刊论文] 作者：段力,翁昊天,姬中林,谢子仪,邹兵林,王盈,
来源：航空发动机 年份：2020
为了解决热障涂层隔温温度测量方法缺乏规范性及精确测量体系欠缺的问题,提出在热障涂层上、下两侧制作薄膜型热电偶测量热障涂层隔温温度的试验方案,利用MEMS工艺在热障涂层...
[期刊论文] 作者：段力,姬中林,翁昊天,李继保,林宇震,曹学强,
来源：航空制造技术 年份：2020
利用MEMS微制造集成技术,在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器,攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可靠导线互联等一系列关键技术难关。对薄膜传...
[期刊论文] 作者：陈熙,段力,翁昊天,付学成,杨志,张亚非,刘千慧,陈益钢,高明,,
来源：微纳电子技术 年份：2019
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[期刊论文] 作者：胡铭楷,翁昊天,刘骏尘,付学成,史丽云,丁桂甫,张亚非,段力,,
来源：微纳电子技术 年份：2017
设计并制作了多种声表面波(SAW)器件,并研究了设计参数与工艺参数对器件特性的影响。首先在同一块掩膜板内设计了多组不同尺寸与间距参数的SAW器件,然后用微电子机械系统(MEM...
[期刊论文] 作者：段力,卢学良,史丽云,王英,付学成,王丹凤,汪军,沈勇,翁昊天,张亚非,,
来源：微纳电子技术 年份：2016
研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器。采用了布拉格反射层为反射基底,以掺镁氧化锌作为压电层,利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器。...
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