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[期刊论文] 作者：耐日嘎,马俊,王园园,豆亚稳,吕海涛,钱莉荣,李翠平,
来源：压电与声光 年份：2022
该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6 H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6 H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化.结果表明,IDT/ScAlN/6 H-SiC结构......
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