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[期刊论文] 作者：聂坤坤,段大伟,李明阳,赵晓翔,王玉亮,李道杰,李从江,
来源：真空科学与技术学报 年份：2021
为解决G8.5世代线PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中频繁出现反射功率超过3000 W导致的沉积中断,研究了磷烷流量、RF Generator的匹配特性及RFoffset的电极间距对磷烷轻掺杂...
[期刊论文] 作者：李明阳,段大伟,步超远,赵晓翔,王玉亮,聂坤坤,陈士娟,李道,
来源：真空科学与技术学报 年份：2019
本文采取4因子4水平田口设计,用等离子体增强化学气相沉积法制备了沉积在白玻璃上的单层N+ A-SI∶H薄膜,测试了薄膜的应力,膜厚,折射率,透过率,及SI-H/N-H键含量,综合评价不...
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