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[会议论文] 作者：胡冬青;亢宝位;吴郁;韩宝东;,
来源：2006中国电工技术学会电力电子学会第十届学术年会 年份：2006
研究2×1016 cm-2剂量氦注入感生缺陷形成的高浓度空位,分别在700°C/100min、700°C/100min+900°C/60min和700°C/100min +1000°C/100min 等退火条件下形成的纳米空腔在80...
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