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[学位论文] 作者:胡梅丽,, 来源: 年份:2004
目前无线通信中的射频/微波MEMS器件已成为国际上的研究热点,MEMS开关作为射频/微波通信中实现信号路由转换的重要器件,成为了研究焦点。与传统上的微波开关PIN管和GaAs FET相比,M......
[期刊论文] 作者:胡梅丽, 来源:大陆桥视野·下 年份:2013
所谓人力资源管理,是对人力资源进行有效开发、合理配置、充分利用和科学管理的制度、法令、程序和方法的总和。它贯穿于人力资源的整个运动过程,包括人力资源的预测与规划,工作分析与设计,人力资源的维护与成本核算,人员的甄选录用、合理配置和使用,还包括对人员的智......
[期刊论文] 作者:茅惠兵,忻佩胜,胡梅丽,赖宗声, 来源:半导体技术 年份:2002
讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试。微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长...
[期刊论文] 作者:茅惠兵,忻佩胜,胡梅丽,赖宗声, 来源:微电子学 年份:2003
文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试.微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通.考虑...
[会议论文] 作者:魏华征,胡梅丽,郑莹,郭方敏,赖宗声, 来源:第八届敏感元件与传感器学术会议 年份:2003
为了快速准确地设计性能良好的RF MEMS开关,本文用HFSS软件对RF MEMS开关进行S参数仿真,对不同结构尺寸的开关进行优化.通过模拟分析了在线电容式RF MEMS开关的射频性能,得到...
[期刊论文] 作者:胡梅丽, 赖宗声, 茅惠兵, 忻佩胜, 沈德新,, 来源:微电子学 年份:2005
目前,聚酰亚胺已成为MEMS开关中一种主要的牺牲层材料.在涂胶前,对聚酰亚胺进行低温和高温两步热处理,使其满足光刻的要求.光刻腐蚀后固化处理,使其固化表面平坦、耐腐蚀.显...
[会议论文] 作者:胡梅丽,魏华征,茅惠兵,赖宗声,忻佩胜, 来源:第八届敏感元件与传感器学术会议 年份:2003
本文主要讨论了微波微机械接触式开关的设计、工艺制备和测试结果.我们所设计的接触式开关不同于以往所使用的悬臂梁式的结构,而是采用了桥式结构.当驱动电压大于吸合电压时,悬浮桥与传输线吸合,使开关导通.在不加电压时,开关为关闭状态.开关的制备是以金-氮化......
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