【摘 要】
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本文主要讨论了微波微机械接触式开关的设计、工艺制备和测试结果.我们所设计的接触式开关不同于以往所使用的悬臂梁式的结构,而是采用了桥式结构.当驱动电压大于吸合电压时,悬浮桥与传输线吸合,使开关导通.在不加电压时,开关为关闭状态.开关的制备是以金-氮化硅-铝的复合结构为悬梁,以聚酰亚胺为牺牲层.实验测试的结果为微机械开关在0.5-5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度可达30-50dB.
【机 构】
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信息学院电子系,华东师范大学(中国上海)
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本文主要讨论了微波微机械接触式开关的设计、工艺制备和测试结果.我们所设计的接触式开关不同于以往所使用的悬臂梁式的结构,而是采用了桥式结构.当驱动电压大于吸合电压时,悬浮桥与传输线吸合,使开关导通.在不加电压时,开关为关闭状态.开关的制备是以金-氮化硅-铝的复合结构为悬梁,以聚酰亚胺为牺牲层.实验测试的结果为微机械开关在0.5-5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度可达30-50dB.
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