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[期刊论文] 作者:胡远帆,, 来源:产业与科技论坛 年份:2014
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[期刊论文] 作者:周献文,胡远帆,, 来源:真空科学与技术 年份:1985
离子束刻蚀是70年代迅速发展起来的一种超精细加工新技术,它是利用离子束轰击固体表面的溅射现象,刻蚀固体表面,利用掩模,可加工出各种精细图形。在缺乏深度终点控制器的情...
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