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[会议论文] 作者：舒骁骥,张云燕,潘先伟,黄进,
来源：SNEC 第十届(2016)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛 年份：2016
本文分析目前太阳能电池生产扩散工艺中高纯三氯氧磷(文中简称磷源)供料模式的特性和缺点,在此基础上提出了一种新型磷源供料系统——PSS(Phosphorus Safe Supply)系统,该系统采用高纯PFA桶(文中简称PFA桶)代替石英瓶,PSS恒温供料装置代替水浴锅、冷阱作为恒温......
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