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[学位论文] 作者：芮大为,,
来源： 年份：2012
LED光源的配光设计是DLP光学引擎乃至整个微型投影领域的核心技术。提高光收集效率、压缩光学扩展量是LED光学设计的关键环节,也是提高整机性能的根本措施。本文论述了LED光...
[学位论文] 作者：芮大为,
来源：中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 年份：2022
作为超大规模集成电路的核心制造装备,光刻机长期以来都是中国半导体产业的一块短板。近年来,在国家的大力支持和科技工作者的不懈努力下,虽然取得了一些阶段性成就,但相对于国外科技巨头长达数十年的技术积累,差距依然巨大。因此,基础科研攻关就成为光刻机研发......
[期刊论文] 作者：张巍, 梁传样, 李金, 芮大为,,
来源：光学学报 年份：2015
激光光源在数字投影显示系统中的使用日趋广泛并成为未来发展的方向之一。衍射光学元件(DOE)用于激光数字投影系统,可利用其整形能力强、匀光性能好、体积小的特点实现空间光...
[期刊论文] 作者：芮大为,史振广,袁文全,张巍,
来源：中国激光 年份：2014
极平衡作为光刻物镜的一项重要指标，受到多种误差因素综合调制，因此有必要准确区分各种误差源的独立贡献量。提出了一种标定方法，将远心度误差所引入的调制效果进行了解耦，对极平衡指标进行了标定，并与质心标定方法进行对比研究。实现途径是以Matlab程序作为载体，调用......
[期刊论文] 作者：周连生,于新峰,吴志会,芮大为,张巍,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2014
光机热集成分析是光机结构设计中的重要环节,对光学系统像质的预测与补偿有着重要的参考价值。针对小物镜系统,进行光机热集成分析,结果表明该系统产生的热像差较大,影响系统...
[期刊论文] 作者：李国栋,陈文彬,赵启义,芮大为,,
来源：电子器件 年份：2011
有机气相沉积是一种基于载气体传输的有机薄膜生长方式。为了优化沉积参数,提高有机薄膜的均匀性,建立了简化的OVPD模型,模拟了不同传输条件对流体动力学边界层的影响。建立...
[期刊论文] 作者：梁传样,张巍,芮大为,隋永新,杨怀江,,
来源：中国激光 年份：2016
激光投影显示通常需要解决光束整形匀化和散斑抑制的问题。基于此,提出利用硅基液晶(LCoS)空间光调制器(SLM)同时解决上述问题的方法。利用衍射光学元件(DOE)精细化设计思想...
[期刊论文] 作者：梁传样, 张巍, 芮大为, 隋永新, 杨怀江,,
来源：光子学报 年份：2017
根据散斑产生的机理,利用像素点之间干涉的概念,提出了通过限制光场的位相分布范围来抑制投影图像中散斑对比度的方法.在部分发展散斑的条件下,推导了位相均匀分布情况下的散...
[期刊论文] 作者：芮大为,林祖伦,祁康成,刘旖,李国栋,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2011
照明光路是决定投影仪光学引擎的光能利用率和光学体积的主要因素。传统照明光路针对朗伯光源进行收集与分配,无法从根本上消除系统光效低和体积大的缺点。设计了一种基于渐...
[期刊论文] 作者：刘旖,林祖伦,祁康成,王小菊,芮大为,沈匿,,
来源：光电工程 年份：2011
在较小体积的照明系统中实现较好的照明效果是近年来微投影仪的主要发展方向。本文在对DLP(Digital Light Processing)微投影显示系统进行分析的基础上,提出了一种紧凑的基于...
[期刊论文] 作者：张德福,李显凌,芮大为,李朋志,东立剑,张建国,,
来源：中国科学:技术科学 年份：2017
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升...
[期刊论文] 作者：芮大为,祁康成,林祖伦,陈文彬,刘旖,李国栋,,
来源：电子器件 年份：2012
提高光能利用率是现阶段LED微型投影仪的技术难题,而提高光源的取光效率则是提高整机光效的前提和根本途径。对于以LED为代表的朗伯源,其光学元件的结构是制约光能利用率的最...
[期刊论文] 作者：陈文彬,李国栋,胡琛,闫思家,芮大为,赵启义,,
来源：功能材料 年份：2012
通过对有机气相沉积中气体的传输过程进行模拟,略述了OVPD传输的基本机制。利用蒙特卡洛法对有机蒸气通过掩膜孔的动力学沉积过程进行仿真,仿真结果表明薄膜的形状受沉积参数...
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