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[会议论文] 作者：苏庆;王媛;兰伟;王印月;刘雪芹;,
来源：第11届全国固体薄膜会议 年份：2008
在不同的衬底温度下,使用直流磁控溅射在硅片上制备五氧化二钒(V2O5)薄膜.利用拉曼光谱和X射线衍射(XRD)研究了衬底温度与退火对V2O5薄膜结构的影响.在溅射沉积过程中,衬底温...
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