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[期刊论文] 作者:荫山胜广,徐清发,,
来源:国外计量 年份:1976
一、引言高真空范围使用的真空计的一个共同缺点是对真空系统有干扰。普通的冷阴极交叉场真空计,例如冷阴极电离规(PIG)和磁控规,由于长时间放电而使压强随放气和抽气作用而...
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