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[期刊论文] 作者：荻原敬次,
来源：真空技术报导 年份：1965
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[期刊论文] 作者：荻原敬次,翁国屏,
来源：真空技术报导 年份：1965
由真空蒸镀所获得的薄膜,是实现部件超小型化的有力手段之一,但在真空中的薄膜表面,易受剩余气体成分,分压强,蒸发温度和时间的影响以及蒸发源的形式,温度等影响而产生变化。...
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