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[会议论文] 作者：葛洪;张晓丹;赵颖;,
来源：第十届中国太阳能光伏会议 年份：2008
以激发频率为60MHz的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)大面积Showerhead平板电极反应室为研究对象,利用FlexPDE和CFD-ACE+商业软件,对反应室电极间的电场和流场分...
[会议论文] 作者：葛洪,张晓丹,赵颖,
来源：第十一届中国光伏大会暨展览会 年份：2010
针对大面积喷淋式电极甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECvD)反应室，本文应用多物理场耦合分析软件CFD-ACE+，建立二维自适应流体模型。模拟研究了硅薄膜沉积过程中电极间流体场、电场空间分布时等离子体空间分布均匀性的影响，给出了薄膜沉积速率分布均匀性随......
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