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[学位论文] 作者：董瀚鹏,
来源：东南大学 年份：2012
微晶硅薄膜晶体管是一种新型薄膜晶体管。与传统的非晶硅薄膜晶体管相比，微晶硅晶体管具有更高的载流子迁移率以及更好的稳定性。但是，目前利用低温生长工艺制备的微晶硅薄膜晶......
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