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[期刊论文] 作者：蒋(山戈兀华,高毓秋,孙德庆,林宝芳,
来源：固体电子学研究与进展 年份：1984
本工作研制适合于在0.5～1.1μm和0.55～0.75μm波段内工作的硅PIN光电二极管。叙述了器件的设计考虑和制造,分别采用双面扩散和高阻外延片单面扩散两种方法制造该器件,达到了预...
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