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[期刊论文] 作者：蓝克坚,李书文,,
来源：电子工艺技术 年份：1984
本文介绍β反散射镀层测厚仪的原理,并给出了设计仪器所依据的计算公式及定标方法,分析了其中各项参数的物理意义及影响因素。进一步讨论了测量误差与实验条件的关系,以及基...
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