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[会议论文] 作者：薛俊明[1]黄宇[2]孙建[1]赵颖[1]耿新华[1],
来源：第九届中国太阳能光伏会议 年份：2006
本文利用中频脉冲磁控溅射方法,采用重量2﹪的Al掺杂Zn(纯度99.99﹪)为靶材制备平面透明导电ZnO:Al薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5﹪的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面...
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