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[期刊论文] 作者：胡慧,金清,王慧,董阳,吴伟鸿,虞栋伟,陶旭东,洪庆,鹿业波,,
来源：科技视界 年份：2015
本文设计了一种快速冷热循环仪,可以实现对金属薄膜材料快速变温的控制,用于研究温度变化对薄膜的影响以改善集成电路的可靠性。该仪器包括升降位移机构、运动控制系统和水冷...
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