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[学位论文] 作者：袁帅阳,
来源：电子科技大学 年份：2021
低粒子高真空插板阀是用于半导体和集成电路行业中的一种特殊的真空阀门,因其在工作过程中脱落的颗粒物很少,不会在晶圆运输过程中对晶圆造成污染,故而是半导体生产中不可或缺的设备。而目前低粒子高真空插板阀只有国外的公司能生产,国内在这方面还没有涉猎。国......
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