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[期刊论文] 作者:董桂芳,袁忠远,
来源:微细加工技术 年份:1998
镓液态金属离子源广泛应用于聚焦离子束技术,本文介绍了一种利用电子轰击的方法制备镓液态金属离子源的工艺和设备,测试了源的I-V发射特怀曲线,dI/dV≈0.05(μA/V),进行了新旧工艺下电流发射稳定度......
[期刊论文] 作者:董桂芳,袁忠远,汪健如,应根裕,张克潜,
来源:微细加工技术 年份:1998
镓液态金属离子源广泛应用于聚焦离子束技术 ,本文介绍了一种利用电子轰击的方法制备镓液态金属离子源的工艺和设备 ,测试了源的 I- V发射特性曲线 ,d I/ d V≈ 0 .0 5 ( μA...
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