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[会议论文] 作者：袁文辉[1]赵青南[1]吴硕[1]缪灯奎[1]梁红昱[1]董玉红[2],
来源：第十一届中国光伏大会暨展览会 年份：2010
采用RF-PECVD方法，以硅烷(SiH4)为反应气体，乙硼烷(B2He)为掺杂气体，经氢气稀释后在玻璃衬底上沉积p型氢化非晶硅(a-si：H)薄膜。用XRD和拉曼光谱分析薄膜的微观结构，采用日本岛津...
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